項目名稱：深紫外穆勒矩陣橢偏儀

采購單位：化工學院

采購方式：詢價

成交單位：武漢頤光科技有限公司

成交價格：378000元

購買數量：1套

産品型号：SE-VM-L(190-1000nm)

評審日期：2022年5月9日

主要技術參數：

1.測量能力：一次性獲得全穆勒矩陣16個元素（m11歸一化，8組rpp, rss主對角偏振元素，8組rsp, rps輔對角偏振元素）、偏振态Psi/Delta（其中Delta值域：-90-270°，360度無死角）、反射率/透射率、退偏指數等光譜

2.光譜範圍：190-1000nm 覆蓋深紫外到近紅外波段，無光纖外接設計

3.測量時間：單點測量不超過15秒

4.光斑尺寸：大光斑模式2-4mm，微光斑模式200μm消透明襯底背反

5.可視化調平系統：支持樣件台可視化輔助對準調平

6.光強調節方式：基于樣件反射信号自适應調整積分時間實現最佳光強信号探測 ，支持實時打印積分時間、采集幀數

7.調制技術：超級消色差雙旋轉補償器PCr1SCr2A調制技術

8.入射角範圍：45-90°(5度步進) 

9.樣品台：支持Z向，俯仰可調，支持樣件尺寸到Ф200mm，支持樣件真空吸附固定

10.重複性測量精度：優于0.005nm （100nm SiO2矽片，30次重複測量）

11.偏振精度：穆勒矩陣優于：對角元素m=1±0.005， 非對角元素m=0±0.005（直通模式測量空氣，所有測量波長點的90%滿足）

12.褪偏指數Depolarization精度優于：±0.5%（測量裸矽，全波段90%滿足）

13.分析軟件：支持16個穆勒矩陣偏振元素建模仿真與分析功能，内置多達數百種的光學材料常數數據庫，并支持用戶自定義光學材料庫；具備多層各向同性/異性光學薄膜建模分析能力

14.測控分析電腦：CPU：≥雙核心處理器，RAM：≥8G，ROM：≥1024G，顯示器：≥19寸， windows操作系統

公示時間：2022.5.10-2022.5.16，如有異議請撥打64253334向王偉老師反映。