項目名稱：抛光機

采購單位：化工學院

采購方式：詢價

成交單位：北京特思迪半導體設備有限公司

成交價格：265500元

購買數量：1套

産品型号：TSP-380

評審日期：2022年5月20日

主要技術參數：

1. 主機尺寸：W 800×D 800×H 600 mm

2. 抛光盤：緩慢啟動、緩慢停止功能

2.1 尺寸：O.D380 mm

2.2 驅動：電機 0.37 kW

2.3 轉速：3~70rpm，無級可調

2.4 冷卻：底盤法蘭采用特殊的水冷通道，獨立冷水機控制實現研磨盤強制冷卻

3. 抛光頭：

3.1 尺寸：兼容4英寸及以下

3.2 轉速1~70rpm，主動驅動電機

3.3 配置擺臂擺動功能，由抛光軸下方可調的限位器控制擺幅

3.4 配置真空壓頭，兼容真空砝碼壓頭

3.5 加壓：通過轉動加壓調整裝置來調整彈簧的壓力，以分配外支撐圈和中心壓盤的壓力，實現對中心壓盤壓力的控制。如抛光夾具的重量不足時，通過在上部增加砝碼來增加壓力

3.6 平行度：通過三個螺旋微動調節頭調整壓頭面與外圈的平行度，即中心壓盤和外支撐圈的平行度

4. 抛光液供應系統：

4.1 PVC液桶：W 374×D 350×H 400mm，3L，帶攪拌功能

4.2 蠕動泵供液，流量可調

4.3 供液通道：1個

5. 工藝程序：PLC控制系統

公示時間：2022.5.23-2022.5.29，如有異議請撥打64253334向王偉老師反映。